实验名称：椭圆偏振法测量薄膜厚度和折射率(二)

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实验名称：椭圆偏振法测量薄膜厚度和折射率(二)

nbsp;168.58 O 157.54 O 11.42 O 67.54 O 11.56O 67.52 O

△=134.96 O 和 Ψ=11.56O
将以上参数输入计算机得：
折射率N1＝2.34；
SiO2样品（周期）厚度：D1＝140.66Å ，D2=1617.89Å ，D3=3095.138Å 。

2.对Si的数据测量与公式计算：

参量 A1 P1 A2 P2 A2’ P2’
Si 10.56 O 67.50 O 167.52O 170.00O 12.48O 80.00 O 11.52O 73.75O

△=132.4O 和 Ψ=11.52 O
将以上数据代入公式：

得：
n1 = N –iNK =3.23－0.31i

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2010-04-09 12:14:20【返回顶部】