关于单片机在热处理设备外延炉中的应用浅析

摘要

    随着科技和技术的发展，单片机在各个领域发展的越来越快并且越来越熟练，其中在热处理设备的应用就是一个很好的例子。由于热处理设备工况复杂 、条件恶劣和人为可操控性差等特点 ，自动化控制一直是热处理设备的研究热 点。 早在 20 世纪 80 年代，单片机就应用到热处理设备的控制中。 本文通过对单片机在国外、国内的应用情况以及在热处理设备外延炉中的应用情况进行分析， 为从事热处理控制研究人员提供参考。

关键词　单片机； 热处理设备外延炉；自动化控制； 应用与分析

目录

摘要 I

目录 I

第1章 国内外研究状况 1

1.1国外研究现状 1

1.2国内研究现状 2

第2章 单片机在热处理设备外延炉中的应用 4

2.1单片机在AMC外延炉中的应用 4

2.1.1 热处理过程的工艺参数控制 4

2.1.2 数据信息管理控制 5

2.1.3生产线整体控制 6

2.2单片机在CSD外延炉中的应用 7

2.2.1单片机在CSD设备中具体的作用 7

2.2.2单片机在CSD设备的失效分析 8

2.3单片机在LPE 2061外延炉中的应用 8

2.3.1单片机在LPE设备中的应用 8

2.3.2单片机在LPE设备中的失效分析 9

2.4单片机在硅外延设备应用中的不足 9

第3章 总结 10

参考文献 11

致谢 12